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中圖儀器光學(xué)表面3d輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等領(lǐng)域。

?SJ5700接觸式輪廓測量儀可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)，廣泛應(yīng)用于機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。儀器依據(jù)GB/T 19600-2004、GB/T3505-2009、GB/T6062-2009、GB/T10610-2009、JJF1105-2003等國家標(biāo)準(zhǔn)及ISO5436、ISO11562國際標(biāo)準(zhǔn)制造。

SJ5700表面輪廓測量儀可測圓弧半徑、直線度、凸度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。還可對各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測試；可對平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進(jìn)行測試，并實現(xiàn)多種參數(shù)測量。

中圖儀器3D光學(xué)輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

w1光學(xué)3D表面輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個像素點處于光強大時的位置，完成3D重建。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀W系列采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高。能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。