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白光干涉儀檢測儀

簡要描述:SuperViewW1白光干涉儀檢測儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等;以及自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

  • 更新時間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號:SuperViewW1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:905

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

白光干涉儀以白光干涉技術(shù)原理,是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。測量單個精細(xì)器件的過程用時短,確保了高款率檢測。其特殊光源模式,可以適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。


SuperViewW1白光干涉儀檢測儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

531.jpg

部分技術(shù)指標(biāo)

型號W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺

標(biāo)配:3孔手動

選配:5孔電動


XY位移平臺

尺寸320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
Z向掃描范圍10 ㎜
主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜


性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

2)隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復(fù)性;

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

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應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例.jpg

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等;以及自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

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